吉安蔡司FIB吉安扫描电镜结合了高分辨率场发射吉安扫描电镜(FE-SEM)的出色成像和分析性能,以及新一代聚焦离子束(FIB)的优异加工能力,其优点众多,具体如下:
成像与分析性能
1、高分辨率:
吉安蔡司FIB扫描电镜配备了先进的Gemini电子光学系统,该系统在低电压和高束流条件下都能提供高分辨率的图像。这确保了样品细节的清晰呈现,有助于更准确的材料表征。
2、多探测器配置:
该设备配备了多种探测器,包括独特的能量选择背散射(Inlens EsB)探测器,可获取纯的材料成分衬度信息。这有助于分析师更深入地了解样品的成分和结构。
3、实时成像监控:
在进行FIB加工时,SEM可以实时成像监控样品表面的变化。这有助于分析师控制加工过程,确保加工精度和样品质量。
加工能力
1、高效加工:
蔡司FIB扫描电镜的FIB镜筒具有高效的加工能力,可以快速准确地移除材料,完成切割、刻蚀等任务。同时,其智能的FIB扫描策略确保了移除材料时的高效性和精准性。
2、纳米精度切割:
该设备能够实现从大尺寸到纳米精度的切割,满足各种复杂样品的加工需求。这有助于分析师在微观尺度上研究样品的结构和性能。
3、自动化样品制备:
蔡司FIB扫描电镜支持自动化样品制备功能,可以批量制备TEM薄片样品等。这大大节省了分析师的时间和精力,提高了工作效率。
综合性能
1、可扩展性:
蔡司FIB扫描电镜具有良好的可扩展性,可以通过加装不同的模块和功能来扩展其应用范围。例如,加装飞秒激光模块可以实现亚毫米级快速加工,同时有效避免腔室污染。
2、用户友好性:
该设备的操作界面简洁明了,易于上手。同时,蔡司还提供了全面的技术支持和培训服务,确保用户能够充分利用设备的各项功能。
3、应用领域广泛:
蔡司FIB扫描电镜在生命科学、电池领域、半导体领域、金属领域、材料科学以及微纳加工等多个领域都有广泛的应用。其强大的成像和分析性能以及高效的加工能力使得它成为这些领域中不可或缺的研究工具。
综上所述,蔡司FIB扫描电镜以其高分辨率、多探测器配置、实时成像监控、高效加工、纳米精度切割、自动化样品制备、可扩展性、用户友好性以及广泛的应用领域等优点,在材料科学研究、半导体芯片开发、纳米器件制造等多个领域发挥着重要作用。